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硅片劃切一體機(jī)

硅片劃切一體機(jī)

設(shè)備型號:GPV-HP-WSG08
設(shè)備簡介:該設(shè)備可實現(xiàn)單晶硅片的的無損切割,兼容性強(qiáng)、效率高、切割質(zhì)量好,穩(wěn)定可靠。

設(shè)備優(yōu)勢與特點(diǎn):

1、上下料方式靈活,支持花籃或料盒。

2、主體框架為鋼構(gòu)焊接結(jié)構(gòu),堅固可靠,保障運(yùn)行平穩(wěn)。

3、特制無痕吸盤。

4、雙軌獨(dú)立控制。

5、程序可儲存多組配方,更換不同產(chǎn)品可快速切換。

6、程序可設(shè)置具有密碼保護(hù)的多重操作權(quán)限。

7、自主AI算法實現(xiàn)PL與紅外隱裂檢測。

8、支持MES對接。


技術(shù)參數(shù):

序號設(shè)備規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)值
1設(shè)備型號GPV-HP-WSG08
2產(chǎn)能6500PCS/H
3綜合破片率≤0.2%
4硅片適用類型單晶硅片
5硅片適用尺寸G12,公差±0.25mm
6硅片厚度100-130um,±10um
7切片規(guī)格標(biāo)配 1/2片
8直線度±0.075mm
9大小片±0.075mm
10切片方式激光無損切割,有水
11頭尾開槽長度≤1.5mm±0.2mm
12頭尾開槽寬度≤100μm±10μm
13頭尾開槽深度≤厚度的40% (可調(diào))
14熱影響區(qū)域無(頭尾開槽除外)
15劃痕控制無傳輸過程引起的劃痕、破損、污染
16檢測模塊PL(必選)、紅外隱裂(必選)、大小片(必選)、電阻率/厚度(可選)、少子(可選)
17MES接口有,支持設(shè)備數(shù)據(jù)輸出給中央控制主機(jī)
18使用環(huán)境溫度25℃±10℃
19壓縮空氣0.5MPa-0.8MPa
20電源AC 380V 50/60Hz 三相五線制
21耗電量峰值:55KW ,平均:33KW
22設(shè)備重量10000KG
23設(shè)備尺寸12900mm×2485mm×2275mm


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